Plasma Cleaner
Potencia: 50W~2000W | Frecuencia: 40kHz~2.45GHz | Tipo de gas: O₂, Ar, H₂, CF₄, N₂, Ar/O₂, etc. | Caudal de gas: 10~500 sccm | Presión de vacío: 10⁻¹~10³ Pa | Tratamiento ti: 10s~30min | Yo: 10s~30min
Shanghái, China
Potencia: 50W~2000W | Frecuencia: 40kHz~2.45GHz | Tipo de gas: O₂, Ar, H₂, CF₄, N₂, Ar/O₂, etc. | Caudal de gas: 10~500 sccm | Presión de vacío: 10⁻¹~10³ Pa | Tratamiento ti: 10s~30min | Yo: 10s~30min