Usado Tratamiento De Superficie en Seúl, Corea del Sur

2000 MARZO PX-1000

• Fabricante: March Instruments
• Modelo: PX-1000

2004 PSK TERA21

• Fabricante: PSK
• Modelo: Tera 21

Tamaño de la oblea: 300MM

2012 TEL INDY PLUS-A-M

• Fabricante: Tokyo Electron - TEL
• Modelo: INDY PLUS

Tamaño de la oblea: 300MM

2004 SAMCO RIE-300NR

• Fabricante: Samco
• Modelo: RIE-300

Tamaño de la oblea: 300MM

2007 AMAT Habilitador

• Fabricante: Amat
• Modelo: ENABLER

Tamaño de la oblea: 300MM

1997 LAM TCP9400

• Fabricante: Lam Research - Novellus
• Modelo: TCP 9400

Tamaño de la oblea: 200MM