Usado parallel en Chōfu, Tokio, Japón

Yamato V1000

• Fabricante: Yamato

Modo de plasma: DP/RIE | Frecuencia de oscilación: 13.56MHz | Potencia rf: 1,000W | Dimensiones del escenario: 280W × 280D mm　Etapa plana paralela | Gas de reacción: Control de caudal másico, 2 sistemas + 1 para ...