1995 CDE CDE80/3 Plasma Etch
- Fabricante: CDE
Mínimo: 150 mm | Máximo: 150 mm | Tamaño de conjunto: 150 mm | Otra información: gases de proceso CF4; O2; N2 | Requisitos de energía: 200-208 V 75.0 A 50 Hz 3 fases
Ratisbona, Alemania1995 CDE CDE80/2 Plasma Etch
- Fabricante: CDE
Mínimo: 150 mm | Máximo: 150 mm | Tamaño de conjunto: 150 mm | Otra información: gases de proceso CF4; O2; N2 | Requisitos de energía: 200-208 V 75.0 A 50 Hz 3 fases
Ratisbona, Alemania