Usado Etching Systems en Gyeonggi, Corea del Sur

GASONICS GASONIC L3510

• Fabricante: GaSonics

LAM TORUS 300S

• Fabricante: Lam Research - Novellus
• Modelo: TORUS 300S

2006 TEL Telius SCCM

• Fabricante: Tokyo Electron - TEL
• Modelo: TELIUS SCCM

Tamaño de la oblea: 12”

2005 LAM / Novellus C2 Doble Secuela Express

• Fabricante: Lam Research - Novellus

Tamaño de la oblea: 8”

2011 Tainics, TE3100, Grabador ICP

• Fabricante: Tainics

Número de serie: N/A | Cantidad: 1 | Detalle del equipo: Grabador ICP | Equipo: Grabador ICP | Descripción: Grabado GaN normal, Grabado GaN alto, Grabado PSS