Usado Implantación De Iones

Inspeccione la línea de haz, la integridad del vacío, la antigüedad de la fuente iónica, componentes de alta tensión, registros de mantenimiento, versión de software y disponibilidad de repuestos.

Asegure suministro eléctrico adecuado (con puesta a tierra para alta tensión), refrigeración (agua o glicol), gases, extracción, acceso a sala limpia y capacidad de carga del suelo.

Contrate transportistas especializados en equipos semiconductores. Planifique desmontaje, embalaje, monitorización de impactos, procedimientos de sala limpia, izado local y trámites aduaneros si procede.

Conexiones mecánicas y de servicios, pruebas de vacío y fugas, acondicionamiento de alta tensión, ajuste de haz, transferencia de recetas y verificaciones de seguridad eléctrica y radiológica.

Mantenimiento de bombas de vacío, sustitución/limpieza de la fuente iónica, alineación de la línea de haz, inspección de aisladores HV, cambio de filtros y líneas de gas, y copias de seguridad del software.

Depende del fabricante y modelo. Verifique la cadena de suministro para componentes críticos y considere contratos de servicio o técnicos especializados externos.