Usado Litografía (Fotolitografía) en Seúl, Corea del Sur

1997 CANON FPA-3000 I5

• Fabricante: Canon
• Modelo: FPA3000

Tamaño de la oblea: 200MM

2007 SEREIN SVM250 II

• Fabricante: SEREIN

FEI TAITAN80-300

• Fabricante: FEI

Tamaño de la oblea: 300MM

1999 TEL Limpiar Track MARK7

• Fabricante: Tokyo Electron - TEL

Tamaño de la oblea: 300MM

2007 TEL LIMPIAR PISTA ACT 12

• Fabricante: Tokyo Electron - TEL
• Modelo: ACT-12

Tamaño de la oblea: 300MM

2000 TEL LIMPIAR PISTA ACT 8

• Fabricante: Tokyo Electron - TEL
• Modelo: ACT-8

Tamaño de la oblea: 200MM

1994 CANON FPA-3000 I4

• Fabricante: Canon
• Modelo: FPA3000

Tamaño de la oblea: 200MM

2007 Olympus STM6-LM

• Fabricante: Olympus
• Modelo: STM6-LM

1997 TEL Limpiar Pista MARK8

• Fabricante: Tokyo Electron - TEL

Tamaño de la oblea: 200MM

2004 CANON FPA-6000 ES6

• Fabricante: Canon
• Modelo: FPA6000

Tamaño de la oblea: 300MM