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2004 KLA-TENCOR Surfscan SP1-DLS
- Fabricante: KLA-Tencor
- Modelo: Surfscan SP1
Tamaño de la oblea: 200MM/300MM
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2000 KLA-TENCOR Surfscan SP1-TBI
- Fabricante: KLA-Tencor
- Modelo: Surfscan SP1
Tamaño de la oblea: 200MM/300MM
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