
2008 LAM Research Corp. 2300 Kiyo
- Fabricante: Lam Research - Novellus
- Modelo: 2300 KIYO
Mínimo: 200 mm | Máximo: 200 mm | Tamaño de conjunto: 200 mm | Número de cámaras: 1 | Capacidades de proceso: Grabado por plasma | Descripción de la cámara 1: ESC de zona dual | Tipo de controlador: VME | Control...
Ratisbona, Alemania
2012 LAM Research Corp. SEZ 323
- Fabricante: Lam Research - Novellus
- Modelo: SEZ 323
Tamaño de conjunto: 300 mm | Requisitos de energía: Otra V 75.0 A 50/60 Hz 3 Fase
Ratisbona, Alemania
2016 LAM Research Corp. WETV18-04
- Fabricante: Lam Research - Novellus
Mínimo: 150 mm | Máximo: 300 mm | Tamaño de conjunto: 300 mm | Número de robots: 1 | Material del depósito: PVDF | Transferencia automática de obleas: SI | Tipo de controlador: Tipo de Controlador de Microprocesa...
Ratisbona, Alemania

