Usado en Seúl, Corea del Sur

2012 KLA Surfscan SP2

• Fabricante: KLA-Tencor
• Modelo: Surfscan SP2

Tamaño de la oblea: 300MM

2007 FEI HELIOS 600

• Fabricante: FEI

Tamaño de la oblea: 300MM

2008 FEI Helios NanoLab 450

• Fabricante: FEI
• Modelo: HELIOS NANOLAB 450

FEI Helios NanoLab 400S

• Fabricante: FEI
• Modelo: HELIOS NANOLAB 400S

2010 KLA-Tencor ARCHER 200 AIM

• Fabricante: KLA-Tencor
• Modelo: ARCHER 200 AIM

Tamaño de la oblea: 300MM

2007 KLA-TENCOR TP630XP

• Fabricante: KLA-Tencor

Tamaño de la oblea: 300MM

2000 KLA-TENCOR Surfscan SP1-TBI

• Fabricante: KLA-Tencor
• Modelo: Surfscan SP1

Tamaño de la oblea: 200MM/300MM

2004 KLA-TENCOR Surfscan SP1-DLS

• Fabricante: KLA-Tencor
• Modelo: Surfscan SP1

Tamaño de la oblea: 200MM/300MM

2012 KLA-TENCOR ARCHER 300 AIM

• Fabricante: KLA-Tencor
• Modelo: ARCHER 300 AIM

Tamaño de la oblea: 300MM

2006 KLA TENCOR ARQUER XT+

• Fabricante: KLA-Tencor
• Modelo: ARCHER XT

Tamaño de la oblea: 300MM

2013 KLA KLA2830

• Fabricante: KLA-Tencor

Tamaño de la oblea: 300MM

2006 KLA-TENCOR ARCHER AIM+

• Fabricante: KLA-Tencor
• Modelo: ARCHER AIM

Tamaño de la oblea: 300MM

2005 KLA ARCHER10XT

• Fabricante: KLA-Tencor
• Modelo: ARCHER10XT

Tamaño de la oblea: 300MM

2006 KLA-TENCOR KLA-PUMA9100

• Fabricante: KLA-Tencor

Tamaño de la oblea: 300MM

2000 KLA-TENCOR KLA2139

• Fabricante: KLA-Tencor
• Modelo: KLA2139

Tamaño de la oblea: 200MM