2012 Plasma Therm, VERSALINE, ICP-RIE Etcher
- Fabricante: Plasma-Therm
- Modelo: VERSALINE
Número de serie: N/A | Cantidad: 1 | Detalle del equipo: Grabador ICP-RIE | Equipo: Grabador ICP-RIE | Descripción: Oblea de 200 mm (máx.)
Suwon, Corea del Sur
1996 PLASMATHERM 7300 PE(7000) (PECVD_PT#01)
- Fabricante: Plasma-Therm
Proceso: CVD | Tamaño (mm): 200mm
Yongin, Corea del Sur
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