El equipo de procesamiento térmico para semiconductores incluye hornos, procesadores térmicos rápidos (RTP), sistemas de recocido y herramientas de difusión/oxidación que modifican las propiedades del wafer mediante calentamiento controlado. Estos equipos requieren perfiles de temperatura precisos, control de atmósfera y uniformidad para cumplir ventanas de proceso estrictas. Al comprar unidades usadas para fábricas, I+D o líneas piloto, evalúe rendimiento, compatibilidad con tamaño de wafer, recetas de proceso, estado del equipo, versión de software y disponibilidad de repuestos.
Revisa el historial de procesos y recetas, verifica compatibilidad con tamaño de wafer y capacidad, inspecciona la cámara y elementos calefactores, consulta los registros de mantenimiento y contaminación, confirma versión de software y disponibilidad de repuestos y consumibles, y verifica requisitos eléctricos, de gas y vacío.
Usa transportistas con experiencia en herramientas para semiconductores, limpia y asegura componentes internos, protege ópticas y calefactores, usa contenedores con control climático si hace falta, monitorea vibraciones/impactos, asegura la carga y gestiona izado certificado y recalibración in situ.
Programa calibraciones regulares, reemplaza elementos calefactores y termopares según indicaciones del OEM, da servicio a bombas de vacío y líneas de gas, limpia la cámara y realiza pruebas de fugas, actualiza software y considera un contrato de servicio con OEM o técnicos cualificados.