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46930412 Guía Universal de IA (Mordaza)
- Fabricante: Yinuo
Shenzhen, China
Consejo: Ingrese un fabricante, modelo o palabra clave
Los sistemas de implantación iónica aceleran iones para introducir dopantes en obleas de semiconductores con alta precisión. Son esenciales en la fabricación de dispositivos por su control de dosis, energía y uniformidad. Existen equipos de producción de alto flujo y sistemas de investigación; incluyen línea de haz, sistemas de vacío, fuentes iónicas, fuentes de alta tensión y software de control adaptados a recetas y rendimiento deseado.
Inspeccione la línea de haz, la integridad del vacío, la antigüedad de la fuente iónica, componentes de alta tensión, registros de mantenimiento, versión de software y disponibilidad de repuestos.
Asegure suministro eléctrico adecuado (con puesta a tierra para alta tensión), refrigeración (agua o glicol), gases, extracción, acceso a sala limpia y capacidad de carga del suelo.
Contrate transportistas especializados en equipos semiconductores. Planifique desmontaje, embalaje, monitorización de impactos, procedimientos de sala limpia, izado local y trámites aduaneros si procede.
Conexiones mecánicas y de servicios, pruebas de vacío y fugas, acondicionamiento de alta tensión, ajuste de haz, transferencia de recetas y verificaciones de seguridad eléctrica y radiológica.
Mantenimiento de bombas de vacío, sustitución/limpieza de la fuente iónica, alineación de la línea de haz, inspección de aisladores HV, cambio de filtros y líneas de gas, y copias de seguridad del software.
Depende del fabricante y modelo. Verifique la cadena de suministro para componentes críticos y considere contratos de servicio o técnicos especializados externos.